Feld- und Bahnberechnung in elektronenoptischen Systemen

Projektleitung und Mitarbeiter

Mittelgeber :

Forschungsbericht : 1994-1996

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Projektbeschreibung

Zur Feldberechnung in elektronenoptischen Systemen werden hauptsächlich zwei Verfahren verwendet: die Methode der Oberflächenquellen und die Methode der finiten Differenzen. Letztere kann auch im Fall irregulärer Randpunkte zwischen unterschiedlichen Materialien mit guter Genauigkeit angewandt werden. In der Umgebung der optischen Achse ist eine genaue Aufspaltung des Feldes in lineare und nichtlineare Komponenten möglich, so daß die Abbildungseigenschaften und Bildfehler von allgemeinen elektronenoptischen Systemen hinreichend genau in direkter Weise berechnet werden können. Auf dieser Grundlage werden entsprechende Computerprogramme entwickelt.

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